二手 AIT VRS-150 #293648371 待售

AIT VRS-150是一種用途廣泛、可靠的晶圓加工設備，旨在滿足最苛刻的半導體應用的需求。該系統包括一個全自動的轉運站，以及一個最先進的機械臂，使它能夠在各個過程階段輕松操縱每個晶片。數個視覺系統進一步加強了機器人系統，利用專有算法監測整個芯片和晶圓的進展。VRS-150可以處理各種各樣的晶圓尺寸和類型，包括8英寸和12英寸晶圓。它還可以容納一個範圍的晶圓厚度，範圍從75到300 μ米。這臺機器還具有高達175°C的最高晶圓溫度，非常適合需要退火或其他高溫處理的應用。該工具的控制器是一個IBM兼容的CPU，有兩個驅動器同時用於板載晶圓處理軟件和全局規範軟件包程序。軟件包程序允許為流程中的每個步驟定制參數配置,並提供手動和自動控制。控制器還能夠在線監控、調整處理器性能以及實時報警和錯誤記錄。AIT VRS-150還提供了各種各樣的流程工具。這些工具包括幹蝕刻加速器、化學氣相沈積（CVD）爐、烤箱和各種晶圓清洗工具。每種工具的設計不僅要生產高質量的產品，而且要盡量減少汙染風險。CVD爐進一步優化，提供低溫低壓工藝，非常適合高性能部件。總之，VRS-150是一種高度先進、用途廣泛的晶圓加工資產。它易於使用的控制器、自動化中轉站、堅固的機械臂和一系列高科技工藝工具,使其成為各種高性能半導體應用的理想選擇。