二手 AIT VRS-150 #293648372 待售
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AIT VRS-150是一種先進的晶圓處理設備,提供最新的技術和組件,以確保系統的高效和受控運行。該裝置設計用於處理多種工藝,包括濕法和幹法加工、清潔、拋光和塗層。VRS-150還包括模塊化設計,允許自定義配置和應用程序滿足每個客戶的特定需求。該機設計緊湊,有多個操作區域,包括晶圓加工用的加工室和日常監測用的濕式傳感器室。該工藝室設計用於高質量晶圓加工,采用多室設計,允許對所有工藝參數進行完全控制。該室還提供所有工藝參數的實時反饋和數據記錄,以確保最佳性能。為了實現高效可靠的操作,AIT VRS-150包括一個集成的過程控制器,可實現單區域和多區域操作。該控制器專為靈活高效的用戶控制而設計,可實現所有晶圓處理操作的完全自動化。控制器能夠控制多個過程參數,例如溫度、壓力和大氣,同時還可以根據需要監測和調整每個參數。VRS-150還具備先進的自動化和監控能力。該工具具有閉環資產控制,能夠實時監測和調整流程參數。此外,該模型能夠自動調整參數,以確保處理結果的一致性和準確性,並防止代價高昂的錯誤或汙染。最後,AIT VRS-150集成了一套功能強大的軟件應用程序。此軟件旨在為用戶提供設備性能的直觀和全面視圖,以及每個流程狀態的詳細信息。憑借其易於使用的界面,用戶能夠方便快捷地控制、監控和調整系統。軟件還包括一個實時圖表,它提供了設備性能的即時可視化表示。總體而言,VRS-150是一臺先進的晶圓加工機,為需要快速高效處理的客戶提供可靠的操作和性能。AIT VRS-150擁有先進的軟件、直觀的用戶界面和強大的組件,是那些希望最大限度地實現晶圓處理的用戶的理想選擇。
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