二手 AIT VRS-150 #293648374 待售

AIT VRS-150是另一種先進的晶圓加工設備，設計用於超微米精度的高容量項目。該系統設計用於處理直徑不超過150毫米的晶片，可以處理多種材料，包括矽和有機材料。該裝置采用多軸機器人定位機，其XYZ定位精度在45毫米x 45毫米x 10毫米的總範圍內移動± 1.5 μ米。這樣可以確保每個晶片的精確放置,並確保一致的處理結果。該工具包括集成的視覺資產,能夠檢測和定位小至6 μ m的精細幾何特征。這樣可以實現高精度和超高速處理。此外，該模型的設計便於與其他晶圓處理系統集成。VRS-150利用精細的機器部件來確保可靠可靠的性能。設備由兩個主要部分組成。第一部分是主要的prober，設計用於自動晶圓處理和放置。本節設有真空管線，協助晶片裝卸。第二部分是晶片經過清洗、氧化等處理過程的鈍化室。AIT VRS-150具有一個自動真空系統，它允許在過程中的每一步中控制一定數量的真空力。它還包括一個「噴嘴噴射」單元，確保在每個工藝步驟後完全去除晶圓。它還具有易於調節的工藝參數，以適應不同的材料和應用。該機具有一系列傳感器和安全功能，以減少操作員的錯誤，提高吞吐量和延長刀具使用壽命。許多組件是緊湊的,使資產成為低成本、高通量晶圓處理的理想選擇。該模型具有易於調節的光源，以適應一系列晶圓尺寸和厚度，並配備了機器人和螺桿級自動清洗設備。此外，該系統設計用於在惡劣條件下的受控大氣中運行，以確保一致的結果。VRS-150是另一個先進的晶圓處理單元,具有許多功能,旨在確保在大容量應用中的高精度。其多軸機器人和集成視覺能力提供亞微米精度，而真空機和噴嘴則提供自動晶圓處理。該工具是為低成本和延長使用壽命而設計的。此外，傳感器和安全功能的範圍提供了一個易於使用，安全和可靠的資產。