二手 AIT VRS-150 #293648375 待售

AIT VRS-150是一種全自動晶片處理設備,用於SiC-SiO2、Si LPCVD和多晶矽沈積以及蝕刻和剝離的單通和多通過程。其先進的軟件控制工藝能夠實現良好的沈積和蝕刻均勻性和最小的批對批變化。該系統配備了多站預對準器、晶圓提升器和晶圓預對準器，以確保晶圓的精確處理。此外，該單元包括幾個真空室門，每一個都與主機門互鎖，提供額外的安全性和冗余的過程。該工具與三個單獨的負載鎖集成在一起，每個負載鎖支持高達150 mm的晶圓，允許單次和多次通過過程。此外，該資產還具有高分辨率的波束電流監測器，可精確控制PECVD工藝。VRS-150設計有一個關鍵的過程控制，有助於減少由過程變異性引起的產量損失。它與多個壓力傳感器、溫度傳感器和石英晶體射頻控制器集成在一起。此外，該模型還包括一個四區感應提升和一個感應傾斜控制，以確保沈積膜的高均勻性。為了確保設備的安全運行，AIT VRS-150配備了一些安全功能，如緊急停止按鈕、氣體安全截止和氣體安全重置。此外，該系統還設計了一個用於過程安全和危險氣體監測的氣體監測單元，以便在關鍵的加工環境中進行更安全的操作。總體而言，VRS-150是一個可靠可靠的晶圓處理單元，能夠為SiC-SiO2、SiLPCVD和多晶矽沈積以及蝕刻和剝離提供可靠的單通和多通工藝。