二手 AIWA AU-501CO #9261216 待售

AIWA AU-501CO是為滿足先進半導體器件制造要求而設計的多功能、高性能晶圓加工設備。利用獨特的模塊化設計，AU-501CO能夠執行各種過程，包括蝕刻、濺射、沈積、氧化、光刻和光刻剝離。該系統還可用於其他一系列輔助過程，如鄰近效應校正（PEC）、邊緣隔離（EI）、粒子幹擾遏制（PIC）和擴散預防（DP）。AIWA AU-501CO采用高精度核心引擎,可處理各種晶圓尺寸,最小晶圓尺寸為4英寸。高精度核心引擎允許晶片到晶片的精確移動,可重復性± 2 um,旋轉精度± 1°。該單元還提供了一系列全面的可編程過程參數，使機器能夠全自動運行。AU-501CO具有一套高級控制系統,可提供對流程的高級控制和監控。它的核心是自動化過程控制和監視工具（APCMS）,它提供了許多功能,包括晶圓負載診斷、過程序列設置、警報和監視以及故障檢測和隔離。該資產還具有強大的數據采集和過程分析模型,可存儲高達4GB的設備數據。AIWA AU-501CO提供了一系列用戶友好的功能,包括圖形用戶界面,允許對流程序列數據進行直觀確認。該設備還包括自動停止錯誤功能,可在流程失敗時快速恢復。此外,還提供了「配方替代警報」功能,允許用戶輕松替換組件,而無需重置整個系統。總體而言，AU-501CO是一個先進可靠的半導體器件處理單元，能夠滿足先進半導體器件制造最苛刻的要求。這臺機器采用模塊化設計，可以進行高效和精確的過程控制和監控，而各種用戶友好的功能使得該工具即使對於非專業用戶也易於使用。