二手 AIWA AU-90CO #9086459 待售

AIWA AU-90CO是最先進的其他晶圓加工設備,旨在為半導體行業提供高質量、經濟高效的晶圓制造和加工解決方案。該系統采用模塊化結構構建,以便在定制生產線中實現易於集成和高可配置性。該單元的主要組件是其4軸模塊化刀具更換器,它可以配置來自AIWA系列產品的多種單次或多次處理工具。這允許了濕法和幹法蝕刻、氮化物沈積、熱退火和濺射塗層等功能的各種組合。機器內的另一個主要組件是卡帶傳輸，負責以同步方式提升和傳送晶圓卡帶，用於順序傳遞處理。該工具旨在提高吞吐量、提高精度和減少廢水。它具有0.1um分辨率的基於伺服的控制資產,可精確調整加工模具和晶片,以獲得優異的效果。它還通過其可配置的輸入/輸出系統最大限度地減少水和能源消耗,並采用了幾種先進的安全機制來保護人員、設備和產品。為了獲得準確的處理結果，可以通過其集成的用戶友好圖形界面來操縱模型。此界面支持許多用戶定義的參數,例如基板溫度、氣體壓力和濕度。這樣可以更輕松地采用工藝配方,並提供工具和基板的實時視圖,以方便過程控制。由於其令人印象深刻的特點，AU-90CO是各種晶圓制造業務的絕佳選擇。它結合了成本效益、精度和安全性，使其成為任何半導體生產商的寶貴資產。AIWA AU-90CO采用模塊化結構,易於集成到現有生產線中,並且具有很高的工藝工具可配置性,因此肯定是滿足晶圓加工需求的可靠高效選擇。