二手 AKT / MKS Astron HF #293608419 待售

AKT/MKS Astron HF是一種高端晶圓處理設備，也是創造多種基於晶圓的產品的領先工具之一。該系統為高溫氧化、外延生長和器件制造等應用中的各種尺寸和厚度的晶片提供全自動工藝。該設備提供計算機控制、高精度和可重復的處理條件,周期時間快,吞吐量可提高30%。AKT Astron HF旨在通過為自動化過程步驟和復雜的操作參數提供集成環境來擴展晶圓工藝能力。該機配備了包括快速退火、可變泵速、全流量控制、快速壓力穩定等選項。此外，它的特點是在250-800°C的範圍內預熱和冷卻至所需溫度，從而提高了氧化物的形成速率。該工具的數字板裝有PID控制器,可完全控制溫度和壓力。再者，這種資產可以與ICP工具等其他設備集成，以獲得更大程度的可控性、準確性和晶圓處理的可重復性。MKS Astron HF結合了晶圓處理模型，用於在加工室和鎖載室之間傳輸晶圓，允許安全可靠的裝載、卸載和處理。它還包括一個可編程的自動端點識別設備，提供充分的靈活性。此外，該系統的安全特性包括壓力互鎖和過溫保護。它還具有現場清潔能力，可以設置為單獨清潔每個晶片，從而降低汙染風險。該單元還支持一系列配方格式，並允許操作員同時控制過程參數和流控制變量。此外,機器生成的數據可用於跟蹤和監視過程條件和周期時間。總體而言，Astron HF為各種基於晶片的工藝提供了處理晶片所需的所有特性和能力。該工具提高了溫度性能和準確性,提高了流程吞吐量,確保了可靠和可重復的結果。對於需要高效、高度可控的晶圓處理解決方案的工程師和研究人員來說，這是一個理想的選擇。