二手 AMSONIC EgaClean 4100 #9315323 待售
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AMSONIC EgaClean 4100是專門為滿足半導體行業需求而設計的先進真空晶片處理系統。它為最具挑戰性的應用程序提供了全面、高效和可靠的清潔解決方案。EgaClean 4100采用先進的四通道脈沖等離子體技術,可精確控制清潔過程。脈沖等離子體技術能夠同時控制多個清潔步驟,從而實現統一、高效的過程,實現高精度和可重復的結果。AMSONIC EgaClean 4100支持手動和自動化晶圓清洗過程。集成壓力系統在所有清潔區域提供一致的真空水平,而先進的安全功能有助於防止有害氣體積聚。為了提高精度和可重復的結果,EgaClean 4100還具有一個專利擴展器系統和獨特的浮動噴頭。此外,AMSONIC EgaClean 4100還配備了高級圖形用戶界面,具有易於理解的說明。一系列內置功能提供晶圓清洗狀態和進度的實時反饋。EgaClean 4100的設計可以容納各種各樣的基材和晶圓尺寸。它支持一系列工藝,包括蝕刻、剝離、清潔、背面清潔、CMP後清潔和晶片氧化,以及單晶片加工。它還提供了較低的運營成本以及較小的占地面積,以提高生產線的效率。AMSONIC EgaClean 4100是半導體制造晶圓加工的理想選擇,為各種基材清潔需求提供了可靠的解決方案。憑借其先進的Pulsed Plasma技術、直觀的用戶界面和一系列內置功能,EgaClean 4100提供了全面、高效、可靠的清潔解決方案,旨在提供一致、高精度的結果,並提高吞吐量。
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