二手 AQUEOUS TECH AQ 201SC #293590741 待售

AQUEOUS TECH AQ 201SC是一種最先進的其他晶圓處理設備，設計用於大規模生產復雜的半導體器件，如片上系統（SoC）器件、邏輯器件和異構器件。AQ 201SC是一種全自動的單晶圓單元,能夠針對各種晶圓尺寸執行一系列過程。它還能夠容納各種底物類型，包括砷化​​氙（GaAs）和矽上絕緣體（SOI）。機器的核心部件包括一個濕處理模塊、一個幹處理模塊、一個潔凈室模塊和一個裝載區。濕處理模塊能夠進行各種操作，包括脫氣、氧化蝕刻、擴散、濕清洗和化學清洗。幹加工模塊能夠進行化學機械拋光（CMP）和其他幹化學過程。4級潔凈室模塊利用HEPA過濾來維持生產的潔凈度標準，還配備了用於濕法和幹法加工的先進化學配方管理工具。這樣就可以在最小的過程操作員幹預下快速優化配方。此外,自動化的物料裝載資產允許安全、準確地處理物料。AQUEOUS TECH AQ 201SC具有高級可視化和數據采集工具,例如Process Analyzer和Model Monitor。這些工具使用戶能夠實時跟蹤和監控設備的性能,從而能夠立即進行流程優化和故障排除。為了滿足各種晶圓尺寸的不同處理需求,系統包括各種附件,例如可交換的工藝框架、卡盤和一系列工藝室。此外,可以定制AQ 201SC以與其他生產系統（如光刻系統、CMP系統和RTP系統）集成。最後,AQUEOUS TECH AQ 201SC節能,符合行業最高標準和環境法規。這使得它成為大批量生產和現代半導體應用要求苛刻的完美解決方案。