二手 AQUEOUS TECH AQ 300 #9165985 待售

AQUEOUS TECH AQ 300是另一種先進的晶圓處理設備，專門為半導體行業的研究人員和工程師設計。該系統設計用於封閉環境中的現場和快速熱過程。AQ 300為各種沈積工藝、晶圓清洗和防腐塗層提供了通用的解決方案。AQUEOUSE TECH AQ 300能夠處理直徑達300 mm的晶片，提供1100 °C的最高腔室溫度。對於清理和清潔應用，AQ 300具有一個6氣體混合單元，可以提供氮氣、氧氣、氙氣、氫氣、氦氣和氙氣。在沈積應用中，該機器包括多用途的硬件，用於生長各種材料，如無定形碳、氙、氮化鈦、氮化鋁和氮化矽。AQUEOUS TECH AQ 300與多個軟件平臺兼容，包括MACThermalX、MACThermalGrowthManager、MACThermalTR和MACThermalSC，用於溫度、速率和其他工藝控制精度。該裝置設有三個獨立的工藝室；一個用於沈積的上腔，一個用於脫氣和清潔的下腔，以及一個用於夾緊晶片的獨立樣品腔。每個腔室都配有高精度石英快門閥和壓力傳感器，用於監控壓力從10^-2到10^-5 torr。為了改進工廠和流程自動化,AQ 300集成了數字流程控制器、自動化控制器和安全系統。它擁有廣泛的多用途嵌入式傳感器和控制系統，用於監測過程參數，如溫度、壓力、氣體含量和時間。此外,它還提供嵌入式TDLAS工具以保持質量保證。AQUEOUS TECH AQ 300是一種用途廣泛的完整資產,專為半導體行業中的精密工藝而設計。它是專門為半導體行業的研究人員和工程師設計的，利用最新技術實現快速熱處理和過程控制精度。高端模型提供業界標準的先進技術,以提高自動化和安全性。