二手 AQUEOUS TECH AQ 400 #9216776 待售
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AQUEOUS TECH AQ 400是一個尖端晶圓處理系統,專為超精密蝕刻、灰化、清潔等工藝而設計。它能夠在幾乎任何尺寸或厚度的晶片上進行蝕刻和清潔,並具有最大的穿透性能。AQUEOUS TECH AQ-400具有獲得專利的EASYFLOW®三級集成晶片工藝,它將最高級別的蝕刻性能和清潔度與幾乎零晶片損壞相結合。EASYFLOW®三階段流程包括蝕刻階段、上升Flow™階段和清潔階段。在蝕刻階段,晶片被鎖定在可調節的真空卡盤中,並暴露於系統產生的高級蝕刻器中。蝕刻劑與晶片相互作用,去除任何汙染,形成均勻蝕刻的表面。接下來,晶片被轉移到上升-Flow™階段,在那裏它暴露於精確控制的超純氣體流動中,這些氣體從晶片表面去除顆粒和雜質。最後一步是清潔階段。在這裏,晶片通過一個專門的腔室,進一步清潔任何微量顆粒的表面,使用一個旋轉擦洗動作產生的專利申請SHIELD™清潔刀片。AQ 400是超精密蝕刻和清洗操作的理想系統。憑借其高精度的EASYFLOW®工藝,AQ-400確保了最大的直通性能和超低汙染-使其能夠滿足最苛刻的超高清潔度要求。AQUEOUS TECH AQ 400可靠、易用、經濟實惠,是需要最大性能和質量控制的應用的理想選擇。
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