二手 AQUEOUS TECH AQ 400CL #9032311 待售

AQUEOUS TECH AQ 400CL是為高通量、自動晶圓清洗和幹燥而設計的下一代晶圓加工系統。它由AQUEOUS TECH專有的Cloud-Ready平臺提供支持,該平臺使用基於雲的SOP、數據采集以及遠程監控和通信。AQUEOUS TECH AQ 400/CL采用四個處理模塊的模塊化設計,非常適合從主流半導體到MEMS、MEMS-A、微流體等多種基板的大量生產。AQ 400CL的模塊化設計允許最大程度的多功能性、兼容性和靈活性。四個集成模塊-工藝模塊、清潔模塊、空氣凈化模塊和腔室控制模塊-提供了一系列功能。工藝模塊提供先進的晶圓預處理、濕加工和材料轉移,而清潔模塊提供清潔、幹燥和非易失性沈積物去除。空氣凈化模塊提供凈化、沖洗和通風循環支撐以及密封，而腔室控制模塊控制部分腔室。AQ 400/CL的Cloud-Ready平臺可幫助操作員對硬件和軟件進行遠程編程、監控和故障排除。通過重復功能對過程的匹配、多位置監控以及同時執行不同的軟件配置和操作,用戶可以收集數據以改善操作,並將處理時間節省多達50%。該平臺還提供遠程SOP、文檔和一整套診斷報告。除了四個處理模塊外,AQUEOUS TECH AQ 400CL還具有多種功能以確保最佳性能。它采用PTFE塗層化學增強室設計，以支持各種化學系統的濕法加工，以及全自動清潔卸載系統。其原位室內清潔功能是一個自我清潔的循環，有助於在嚴格的潔凈室標準範圍內維護流程。此外，它還配備了自動晶圓校準，用於準確可靠的晶圓跟蹤和處理。總體而言，AQUEOUT TECH AQ 400/CL是最終的高通量晶片清洗幹燥系統。憑借其雲就緒平臺和各種特性和功能，使運營商能夠優化流程並提高晶圓處理的吞吐量。