二手 AQUEOUS TECH AQ 400CL #9234265 待售
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ID: 9234265
優質的: 1997
Batch cleaner
Open loop machine
Does not include strip printer
1997 vintage.
AQUEOUS TECH AQ 400CL是一種先進的晶圓加工設備，旨在滿足晶圓制造的最高非化學顆粒還原要求。該系統提供卓越的顆粒還原性能，更嚴格的粒徑分布控制，更高效的運行時間。AQUEOUS TECH AQ 400/CL采用可調壓力噴嘴清洗工藝，旨在保證晶圓塗層的最佳效果和顆粒還原性能。該工藝利用精確的水流率以及可調節的噴嘴方向和位置來有效地清潔粗糙和成品表面。多噴嘴清洗循環與可調水壓相結合，提供了先進的顆粒還原性能。AQ 400CL還兼具濕法和幹法兩種功能。這兩種工藝功能的結合使得清潔晶片表面更容易，並通過允許去除細小顆粒同時保持下面晶片表面的完整性來提高性能。AQ 400/CL裝置采用高強度UV-C光致發光微粒去除技術。這項專利技術可確保在不使用化學品的情況下實現堅固的顆粒還原。光致發光光使晶片表面暴露於安全、精確的能量通量中，從而中和顆粒而不會損壞下面的底物。此技術還允許更長的運行時間,以便更高效地處理晶圓曲面。此外,AQUEOUS TECH AQ 400CL還具有廣泛的自動化和機器控制功能,以適應不同的應用程序、運行速度和環境條件。該軟件的設計目的是從前面的前置過程、晶圓堆積室的上遊以及後處理區域清除顆粒。這在預處理階段和後處理階段都提供了高質量的顆粒還原晶片表面。總體而言，AQUEOUS TECH AQ 400/CL是一種先進的晶圓加工工具，旨在滿足最高的非化學顆粒還原要求。該資產提供卓越的顆粒還原性能、更嚴格的顆粒尺寸分布控制、更高效的運行時間以及廣泛的自動化和模型控制。
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