二手 AQUEOUS TECH AQ 7 #9165986 待售

AQUEOUS TECH AQ 7是另一種晶圓加工設備，設計用於滿足半導體工業中高精度、高產加工的需求。該系統支持300毫米晶圓，24小時內可處理多達200個晶圓，同時達到1微米或以下的精度。AQ 7是一個全自動單元,具有集成的軟件和硬件功能,可快速、可靠地處理各種晶圓過程。它將濕法和幹法兩者結合在一起，以便高效和可重復地執行各種流程任務。AQUEOUS TECH AQ 7包括一個能夠處理幹濕過程的過程模塊。它包括一臺使用化學/等離子體蝕刻來蝕刻和塑造表面的蝕刻機，以及用於保形塗層和薄膜沈積的氣相沈積工具。AQ 7還有一個Spin Rinse Dryer，用於沖洗和幹燥晶片。包括質量流控制器和真空冷卻器，為所需的晶圓工藝提供精確的環境條件。AQUEOUS TECH AQ 7還包括最先進的AQ 8監控資產，允許用戶實時監控和控制整個處理模式。監測設備包括在線流程配方和配方管理功能，以確保流程參數始終保持最高精度。為確保安全、可靠和可重復的晶片處理,AQ7具有多種安全功能。其中包括一個系統自我診斷功能，允許用戶在單元操作過程中輕松檢查異常情況。內置的冷卻器安全機器可確保冷卻器的溫度不會超過設定點溫度。該工具還包括嵌入式安全資產和多項認證，包括CE和ATEX，以確保危險環境中的安全和性能。最後,AQUEOUS TECH AQ 7提供了多種操作模式（濕、幹或兩者）。這使得用戶可以很容易地適應不同的條件，比如在不同的生產運行或生產線中可能遇到的情況。它還包括高級用戶界面和報告功能,使用戶能夠在模型使用過程中輕松監視和跟蹤其進度。總體而言，AQ 7是為滿足半導體行業需求而設計的頂級晶圓加工設備。該系統在廣泛的應用中提供高精度、高吞吐量和可靠的操作。它還提供多種安全功能,以提高用戶的安全性,並獲得了在危險環境中使用的認證。