二手 AQUEOUS TECH ECO 6300uP #9185561 待售

AQUEOUS TECH ECO 6300uP是Aqueous Technologies提供的先進晶圓加工設備。該系統設計用於各種研究、開發和生產應用，從超凈模具連接到先進的光子器件制造。該設備采用六站群集工具,能夠對直徑最大6英寸的晶片進行完整處理,並可以使用可選的模具連接框架處理300 mm晶片。該單元包括精密部件和可調節參數，用於精確、可重復、低汙染的過程。ECO 6300uP配備了基於智能卡的可編程分配單元，用於特定的分配操作和精確的解決方案交付。該機器能夠運行多種類型的進程，從簡單的晶圓清洗到多腔室框架處理。該設備采用緊湊的外形尺寸設計,可用於清潔環境。此外，整個工具可以自動訪問和響應，提供快速的流程管理和對整個流程的精確控制。該資產的特點是獲得專利的雙波長噴槍，其設計目的是提供精確的噴霧模式，同時控制蒸氣流動和汙染。灌溉裝置的設計目的是提供均勻均勻的晶片覆蓋範圍，減少覆蓋範圍不完全和汙染的風險。該模型設計為用戶友好的首次操作，具有交互式觸摸屏界面，便於操作。該單元進一步能夠適應各種各樣的晶圓類型和尺寸，以及各種工藝需求。AQUEOUS TECH ECO 6300uP是一種健壯、可靠、高效的設備，非常適合研究、開發和生產光子器件。該系統能夠提供具有低汙染水平的精確和可重復的過程，使其成為廣泛光子應用的最佳選擇。