二手 AQUEOUS TECH ECO #9185902 待售

AQUEOUS TECH ECO是其他晶圓加工的革命性新系統。這種高吞吐量、低占地面積的設備利用了專有的水處理技術,能夠跨Si、GaAs、InP、SoI和FDSOI等所有類型的晶片進行多階段處理。該系統包括四個主要組成部分：氯基預處理反應堆、臭氧基氟化反應堆、等離子體基氧化反應堆和酸基後處理罐。氯基預處理反應器用於去除晶圓表面的汙染物和天然氧化物。經過預處理後，生成氧基和氫基自由基，以增強後續工藝步驟的附著力。然後利用臭氧基氟化反應器實現介電膜在晶片上的高質量沈積。等離子體氧化反應器用於在晶片進入酸性後處理罐之前細化晶片的表面質量。酸性後處理用於蝕刻電介質膜。對蝕刻過程進行仔細監控，確保晶片表面均勻且無缺陷。調整後的工藝參數可實現淺層和深層蝕刻操作。經過後處理，導電種子層和鈍化層沈積在晶片上。最後,檢查晶片,檢查表面是否有損壞或缺陷。ECO旨在確保廢物和環境影響最小。它在預處理、氟化、氧化和後處理階段使用無害環境的溶液。還收集和再利用各種流體，以盡量減少浪費，並確保在加工過程中對晶片進行最佳處理。AQUEOUS TECH ECO是一個可靠且具成本效益的系統，可用於多種工業應用，包括微電子學、光子學和生物醫學設備。其高長寬比蝕刻能力和低占地面積特別適合晶圓級封裝和MEMS/NEMS集成。ECO具有靈活、用戶友好的設計,是晶圓加工操作的理想選擇。