二手 AQUEOUS TECH SMT600-LD #9220569 待售

AQUEOUS TECH SMT600-LD是一種晶圓處理設備，設計用於各種應用，包括亞微米光刻、計量、等離子體、蝕刻、清潔和表面制備工藝。SMT600-LD系列系統設計先進,具有開放式體系結構平臺,可提供卓越的靈活性和方便的系統升級。計算機控制單元可以精確控制過程參數，並確保在樣品制備過程中產生可重復的結果。AQUEOUS TECH SMT600-LD系列是一個獨立的模塊化機器,具有各種選項,使其能夠適應各種工藝要求。模塊化設計允許用戶根據自己的需求定制工具，並方便擴展。它包括包含晶片卡盤、高精度激光測量資產、雙管等離子體蝕刻模型和流體操縱用泵的處理區域。所有部件都安裝在不銹鋼工作臺上，該工作臺設計用於抵抗所有形式的腐蝕性化學品，以提供可靠的工作空間。SMT600-LD系列由基於微處理器的高性能控制設備提供動力。該系統還包括用戶友好的高級軟件，允許用戶根據自己的特定需求定制編程。直觀的界面提供多種功能,包括設備診斷和數據日誌記錄。AQUEOUS TECH SMT600-LD系列具有具有通用運動控制設置的高精度對準系統。對於各種晶圓尺寸，機器可以在高達20度的運動自由度下運行。運動控制工具提供對樣品位置和方向的高分辨率跟蹤和控制。高精度電子設備支持高級溫度控制和集成過程定時功能。SMT600-LD的溫度穩定性保證為+/-1⁰C預先選定的設定點，綜合工藝定時確保適當和快速的沈積、蝕刻和清潔工藝定時。SMT 600-LD系列提供高級特性和功能,非常適合高級研究應用。其用戶友好的界面、精確控制系統和模塊化設計使其成為研究各種半導體加工技術的理想工具。其堅固的結構確保了可靠的操作，直觀的設計使用戶能夠快速掌握其操作。