二手 AQUEOUS TECH Trident XLD #9258638 待售

AQUEOUSE TECH Trident XLD是為後端半導體制造和選擇性沈積應用而設計的先進晶圓加工設備。它提供了獨特的技術組合,旨在最大程度地提高吞吐量、降低汙染風險和管理工藝環境。Trident XLD構建在一個高級模塊化平臺上,該平臺專為實現最大的靈活性和可擴展性而設計。該平臺主要由晶圓處理系統、沈澱室和清潔子系統三個部分組成。晶圓處理單元可靠地將晶圓從輸入轉移到輸出模塊，同時將其保持在所需的質量水平之內。沈積室的設計旨在為選擇性沈積應用提供精確、可再現的熱環境。清潔子系統包括一個低風險、無汙染、基於等離子體的過程來清潔和清除顆粒。AQUEOUSE TECH Trident XLD還具有閉環過程控制機，能夠精確控制多達八個軸。該工具為用戶提供了功能強大的晶圓處理配方以及快速修改配方內參數的能力。閉環過程控制資產可實現高度精確的層厚度控制、最優層均勻性,並允許快速的配方轉換和配方優化。沈積室采用雙室布置，以提高晶片的穩定性和溫度均勻性。針對串行雙面晶片堆叠和高效擴散反應器進入進行了室內優化。該模型還采用了水循環設備，以高效冷卻過程，提高產量，延長工具壽命。除了先進的技術外,Trident XLD還具有用戶友好的圖形用戶界面（GUI）,可輕松創建和選擇配方。GUI為用戶提供詳細的過程信息,以及全面的故障診斷和糾正工具。該系統可幫助操作員排除故障並優化流程配方,以提高刀具性能和產量。AQUEOUS TECH Trident XLD為後端半導體制造和選擇性沈積應用提供了一個強大、可靠的解決方案。憑借其先進的功能、模塊化的平臺、閉環過程控制單元以及易於使用的圖形用戶界面，這臺機器是尋求優化生產過程的制造商的理想選擇。