二手 AQUEOUS TECH Zero-ion #293657416 待售
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AQUEOUS TECH Zero-ion是由領先的半導體加工產品供應商Aqueous Technologies Corp開發的先進晶圓蝕刻和摻雜處理設備。它使用零離子技術在不使用蝕刻和摻雜氣體的情況下蝕刻和摻雜晶片,可以產生高精度和超高純度晶片。這項技術旨在為關鍵電子設備應用提供極其精確的晶圓蝕刻和摻雜工藝。AQUEOUS TECH零離子系統配備了專利沈積和蝕刻技術,可實現極高的分辨率和精確的晶圓處理。它具有廣泛的流程參數,可以輕松設置和定制這些參數以滿足客戶的需求。該設備還配備了先進的采樣機,可確保精度和可重復性能。該工具還提供了廣泛的傳遞功能和選項,如電氣、機械和化學。利用零離子資產進行晶片蝕刻的過程包括首先用溶劑清洗溶液預先清洗晶片。之後,使用合適氣體的來源生成等離子體,然後將其用於去除表面汙染物。接下來是在液體溶液中進行的濕蝕刻過程。然後加熱晶片,除去有機殘留物,進行界面清洗。該過程之後是空位補償和活化摻雜劑,以在晶片上達到所需的性能。使用AQUEOUS TECH零離子模型對晶片進行摻雜是基於化學氣相沈積過程,然後使用合適的氣體進行蝕刻過程。引發化學反應,在晶片上提供薄膜。然後將源氣體用於摻雜過程,並生成用於摻雜晶片的等離子體。一旦摻雜過程完成,膜的結構就會改變,以定制晶圓的性質。零離子設備保證了蝕刻和摻雜工藝的高精度和重復性。它還以出色的熱管理系統以及與各種工藝氣體的兼容性而聞名。此外,AQUEOUS TECH零離子單元能夠在最短的時間內提供所需的質量。這使得它適用於包括集成電路制造在內的多種應用。
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