二手 ASAHI SUNAC AF5400SC #9390976 待售

ASAHI SUNAC AF5400SC是為商業和工業應用而設計的高性能晶圓處理設備。該系統能夠處理多達4英寸的晶片，具有廣泛的晶片處理能力，包括濕蝕刻、幹蝕刻、自旋蝕刻、光刻、抗剝離和其他重要工藝。該裝置采用了最先進的電化學嵌入式電池配置，具有5kW的、可粗調的ICP（感應耦合等離子體）電源。該機器能夠在晶圓的整個表面上進行平行、均勻的等離子體處理。其電池還采用了分流技術，以防止不同氣體的交叉汙染。腔蓋具有快速打開機制，便於進入腔室，提高產量和吞吐量。該工具還具有高級流程控制和監視功能。四氣體進氣口提供穩定和可重現的條件，而先進的室內壓力適應資產則實時調整工藝條件。這樣可以實現精確準確的工藝條件，最大限度地減少腔室汙染，最大限度地減少頻繁維護的需要。該模型還具有一系列額外的傳感器，包括一個石英晶體微平衡，它監測蝕刻速率，確保一個一致和可重現的過程。該設備還擁有兩個高效直流濺射源。這些光源具有高度均勻的沈積，邊緣的薄膜厚度增益最小，使得在蝕刻過程中能夠使用較小的口罩。這進一步提高了系統的精度和準確性。AF5400SC是提供精確、高精度晶圓處理服務的各種工業和商業應用的理想單元。該機能夠嚴密的過程控制、優異的產量、高通量的操作，同時仍然保持安全方便的使用。通過提供最高質量的晶圓處理功能,該工具是許多行業中許多運營商的首選。