二手 ASTEX AX 7685 #293642868 待售

ASTEX AX 7685是為清潔、塗層和半導體制造等多種晶圓加工應用而設計的最先進的晶圓加工設備。該系統可容納200毫米以下的晶圓尺寸，設計用於各種不同的工藝室，包括等離子體蝕刻、沈積、氧化和濕暴露系統。AX 7685使用戶能夠快速高效地處理晶片,同時保持出色的精度和控制。該單元由多區直線輸送機（LTS）、等離子體蝕刻室、洪水室、工藝室四個主要部件組成。LTS旨在通過該工具安全可靠地運輸晶片，從而消除任何交叉汙染的風險。等離子體蝕刻室利用與基於等離子體的加工相關的較高蝕刻速率來提高蝕刻均勻性並降低特征邊緣。泛光室使用LED陣列,以確保晶片上的工藝光刻一致。最後，工藝室允許溫度、壓力和工藝配方控制，為用戶提供晶圓加工的最大靈活性。ASTEX AX 7685提供了創新的功能,以確保晶圓得到一致的最高質量的處理。該資產的可用工藝面積為800 cm2,精度為2.5µm ±,為用戶提供了最高的分辨率和準確性。此外，該模型旨在減少環境汙染的影響，如空氣-塵埃顆粒、靜電和晶圓加工過程中的振動。而且，為了確保最大限度的安全和準確性，設備還配備了一個全面的監控系統來跟蹤晶圓級的過程數據和安全報警。AX 7685是一種功能強大且可靠的晶圓處理系統,旨在在大批量生產環境中工作,同時保持最高精度和準確性。該單元可以量身定制,以滿足用戶應用程序的特定要求,從而確保最大程度的靈活性和成本效益。ASTEX AX 7685具有處理大小晶片的能力,是提高晶片加工能力和提高晶片質量的理想選擇。