二手 AUSTIN AMERICAN TECHNOLOGY / AAT 9700 #9228052 待售

ID: 9228052
Batch cleaner Power requirements: 208/230 V, Single phase, 50/60 Hz, 20 A.
AUSTIN AMERICAN TECHNOLOGY/AAT 9700是一種為一系列半導體應用而設計的多合一晶圓處理設備。該系統的設計是可擴展的,每個單元的晶圓數量最多為9個。此外,它還擁有一臺先進的生產控制機器,可以為不同類型的晶圓提供個性化的產品。該工具包括處理高溫epi-ready晶片的能力,適用於多種應用,包括射頻紙和基板級應用。在晶片加載方面,AAT 9700提供了全幀和半幀晶片的精確、自動裝卸,具有滿足現代生產工藝要求所需的自動化程度。該資產具有高度靈活的體系結構和工業級組件的可靠使用,能夠進行多腔、多步晶圓處理。晶圓可以直接加載到模型中,或者用已經加載的晶圓容器加工到集成加熱爐中。對於樣品加熱,AUSTIN AMERICAN TECHNOLOGY 9700通過一個或多個腔室加熱爐提供精確的溫度控制,能夠達到高達1500攝氏度的溫度。爐內的溫度均勻性可以保持,用自給自足的氣體管線來凈化空氣,以避免汙染。其他功能包括氣體切換系統和安全系統,以防止意外暴露在炎熱的環境中。在過程控制和監測方面,9700有若幹集成軟件系統,可用於設備的配置和管理。其中包括一個基於軟件和硬件的集成系統,用於計算機控制晶圓處理的所有方面。這包括所有生產過程的自動化以及記錄質量控制和維護所需的信息。在單位一級,機器能夠在早期階段診斷出過程中的任何潛在錯誤。最後,AUSTIN AMERICAN TECHNOLOGY/AAT 9700提供了多種附加功能和服務,所有這些功能和服務都旨在最大限度地提高用戶效率。這包括遠程診斷、遠程訪問和支持服務,以及用於更復雜操作的自定義軟件編程。所有這些服務旨在為用戶在晶圓處理周期中提供盡可能多的控制。總體而言,AAT 9700是一種高效可靠的工具,適用於一系列其他晶圓工藝應用。其集成的軟件系統、靈活的架構和溫度控制能力使其適合各種不同的應用。
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