二手 AUSTIN AMERICAN TECHNOLOGY / AAT Microjet D/C #9256486 待售

AAT Microjet D/C是針對半導體應用需求量身定制的綜合性晶圓處理設備。它是一個創新的集成系統，允許在矽或復合半導體器件的生產中實現最大的正常運行時間和效率。該單元配備了先進的工藝工具，包括自旋塗料、蝕刻器和烘幹機，允許在晶圓加工之前、之中和之後廣泛的沈積和固化順應性。AUSTIN AMERICAN TECHNOLOGY Microjet D/C利用先進的專利MicroJet技術在晶片上沈積和固化薄膜時達到了無與倫比的精度水平。這項技術提供了一個非常均勻的厚度-薄至500 nm-具有均勻、高質量的電介質層。此外，可噴射氣流使晶圓邊緣的薄膜均勻性最大化，使顆粒汙染最小化。該機還提供了一個綜合工藝控制套件，用於優化晶圓處理。該套件允許操作員監控關鍵性能指標，優化不同類型晶片的沈積流速，保證氣流均勻性，查看實時膜質量信息。該套件還促進了多種串聯分析工具的集成，以實現更好的控制和可追蹤性。這些分析工具包括光譜儀、粒子計數器、FTIR和拉曼光譜儀。此外，該工具采用內置廢物處理資產、發電機和空氣洗滌器，保持嚴格的環境標準。廢物處理模式確保危險材料的安全處置，而發電機和空氣洗滌器則確保設備符合區域排放條例。總體而言，AUSTIN AMERICAN TECHNOLOGY/AAT Microjet D/C是一個全面、可靠的解決方案，用於高效、高效的晶圓處理。先進的工藝工具、全面的工藝控制套件、嚴格的環境標準，都保證了所有使用該系統加工的晶片保持質量，遵守安全法規。