二手 AUSTIN AMERICAN TECHNOLOGY / AAT Microjet EC #9016322 待售

AUSTIN AMERICAN TECHNOLOGY/AAT Microjet EC是一種精密晶圓處理設備，設計用於快速精確的半導體處理。該系統采用獨特的「射流邊緣」功能，即流體射流裝置，可以精確清潔、蝕刻或沈積晶片而不會損壞晶片。射流邊緣技術以高壓氧氣或氮氣為驅動力，實現晶圓非常精確的清潔、蝕刻和沈積。這臺機器能夠非常精確地沈積、清潔和蝕刻晶片，而不會損壞其表面，這要歸功於噴嘴上的可變焦平面調整。AAT Microjet EC工具可以處理一系列晶圓尺寸，從4「到8」，最大晶圓厚度為6毫米。該資產支持在射流邊緣過程中同時使用氮氣和氧氣，允許用戶為不同的任務設定沈積速率、蝕刻速率和清潔能力。該模型還包括一個汙染物監控器，這有助於確保晶圓的處理幹凈，不會造成損壞或汙染物。AUSTIN AMERICAN TECHNOLOGY Microjet EC設備有三大部件：泵、噴嘴組件和控制。泵可使高壓氮氣和氧氣指向噴嘴。噴嘴組件采用可調焦平面調節裝置，可從控制上調節，提高晶圓蝕刻和清洗精度。控件包括進紙器、控制器和氣線。進紙器充當電源控制器,而控制器執行精確的速度控制和定時。空氣管線向噴嘴輸送氣壓並控制其方向，同時允許進行氣壓和噴嘴角度測試。Microjet EC系統提供了一種非常精確和高效的方法來清潔、蝕刻和沈積晶片,從而減少晶片損壞和周轉時間。其可變焦平面調整確保了蝕刻和清潔的準確性，而汙染物監測器則確保了清潔。AUSTIN AMERICAN TECHNOLOGY/AAT Microjet EC是任何需要精確處理的半導體產品的絕佳解決方案。