二手 BARON BLAKESLEE MLR-120 #142292 待售

BARON BLAKESLEE MLR-120是由Blakeslee Process Solutions開發的最先進的晶圓處理設備，旨在提供對溫度、壓力和其他工藝條件的精確控制。該系統能夠支持各種技術，包括光刻、濕、退火、自旋塗層和其他工藝。MLR-120旨在為一系列流程創建理想且定制的環境。它提供了多種動態熱和壓力控制選項,允許在不同的溫度、壓力和時間下進行單批處理或多次運行。它有一個自動真空超壓單元，內置溫度控制器，以及廣泛的標準溫度和壓力傳感器。溫度可以在10英寸或更大直徑區域內從環境控制到1000 °C,均勻度為+/-1 °C。工藝壓力也可以在10英寸區域內以+/-1/2 Torr的均勻度從0調整到10 Torr。BARON BLAKESLEE MLR-120也可以單獨配置以滿足特定的工藝要求。它由重型不銹鋼外殼和腔室襯裏以及堅固的不銹鋼反應擋板和托盤構成。可移動不銹鋼反應室的設計使加工更容易。腔室通過排氣口排出，從而實現安全高效的操作。此外,MLR-120還提供高級軟件控制,為用戶提供對機器的完全控制。通過軟件，用戶可以輕松控制壓力、溫度、時間、頻率和周期參數，包括預先編程的配方和要使用的序列。該軟件還允許用戶存儲流程結果、訪問生產數據和快速更改參數以提高流程性能。BARON BLAKESLEE MLR-120晶片加工工具為各種應用的晶片加工帶來了速度和精度。其廣泛的功能使用戶能夠簡化流程,獲得可靠且可重復的結果,並確保產品的最佳質量。