二手 BRANSON 1510 #9137099 待售

BRANSON 1510是一種最先進的晶圓加工設備，用於從光刻和晶圓染色到退火和研磨等多種應用。1510借助運動控制、計算機控制光學系統和力反饋技術的最新進展，提供了高精度、高吞吐量、卓越可重復性等多種優勢。該系統設計有高速15英寸雙軸線性伺服電機、完全集成的運動控制單元和高精度平面測量機（PMST）。這樣可確保處理過程中的精確精度和可重復性,以及高吞吐量。BRANSON 1510能夠微觀操縱到1 μ m的分辨率,並提供高速的即時補償。除了精確的定位之外,1510還通過其獨特的模塊化設計提供了處理過程中的靈活性。該工具具有增加平坦步進器或旋轉級的能力，能夠執行各種任務，包括精細摻雜、金屬沈積、光刻、電晶片探測、蝕刻和晶片研磨。這一資產還提供了大量生產晶片的高重復速率，消除了額外檢查的需要，減少了浪費。BRANSON 1510配備了多個操作員的工作站選項，包括基於Windows的PC模型和圖形用戶界面（GUI），方便導航。通過局域網連接,1510可以輕松集成到現有的生產網絡和其他機器中。為了增加便利，該設備與多種類型的外圍設備相容，如電離器、液壓填充器和視覺系統。BRANSON 1510還能夠進行先進的測量、溫度和濕度控制。這樣可以對晶片進行熱處理,而且損壞最小。該系統還擁有龐大的塗抹、蝕刻、研磨、清潔、塗層等多種晶圓加工技術的配方庫。為了安全起見,1510采用了膜安全面板和多個冗余安全功能。該設備可擴展用於將來的升級和修改,所需消耗品更少,維護方便。BRANSON 1510非常適合任何需要在高通量環境中進行準確且可重復的晶圓處理的應用。