二手 BRANSON 3510R-DTH #293627287 待售

BRANSON 3510R-DTH是為微電子清潔應用而設計的先進濕化晶片加工設備。該系統非常適合後磨、低k蝕刻和SiNx剝離、模片和晶片清洗、表面制備和翻轉芯片鈍化。它具有革命性的DTH（DeepTrack Heated）功能，利用專利旋風技術，以無與倫比的效率從邊緣到邊緣、從上到下清潔整個基板。3510R-DTH是一個可升級的單元，有兩個熱室、兩個真空室和一個閉環化學輸送機。兩個熱室各可容納60個晶圓,可承受高達400°C的溫度。這樣可以處理各種各樣的基材，包括Si、GaAs、InP和SOI。該工具設計用於在任何熱過程中對每個晶片進行最佳的溫度-時間輪廓控制。2個真空室的400L容量很大，可以達到<10-8 torr的壓力。這樣可以確保最大程度地從腔室排出。封閉式化學輸送資產是為完全控制所使用的化學物質和濃度而設計的。這允許用戶以最大的效率調節各種過程所需的特定化學。DeepTrack加熱（DTH）功能在晶圓處理過程中利用由熱室創建的差分溫度曲線。這產生了強大的旋風效應，並確保了均勻的底物覆蓋，沒有殘留物。這是低k蝕刻和背面研磨應用的理想選擇。此外,BRANSON 3510R-DTH附帶了一個可定制的軟件包,使用戶可以快速輕松地調整流程參數。此軟件還允許對模型進行完整的診斷控制,並允許用戶在處理過程中知道每個晶片的狀態。3510R-DTH是當今市場上最先進的濕化學晶片加工系統之一。它具有2個熱室、2個真空室和革命性的DTH特性，在清潔、蝕刻和表面制備方面提供了前所未有的控制和效率。它的可自定義軟件包提供了對各種工藝參數的快速輕松控制,以及對設備的完整診斷控制。該系統是微電子清潔應用的理想之選，憑借其先進的功能，一定能徹底改變行業。