二手 BUEHLER 60-2499 #293649427 待售

BUEHLER 60-2499是一種全自動化的四區熱氧化爐，設計用於處理超細晶片和其他細膩的基板。設備的整體設計可確保精確的溫度和均勻性,從而實現最高質量的晶圓工藝。60-2499通過其精確的控制和先進的絕緣設計，設計為最大限度地提高溫度穩定性和精度。該爐由四個不同的加工區組成，每個加工區都有各自獨立的絕緣冷卻室和排氣室。該設計允許對每個區域分別進行精確控制，確保在制造的所有階段都有一致的工藝條件。采用先進的風冷絕緣和集成冷卻系統有助於降低能耗，同時提高溫度穩定性。BUEHLER 60-2499還集成了先進的氣體監測和過程流量控制傳感器，確保了基材加工的恒定性能和重復性。60-2499能夠處理直徑不超過4英寸、厚度在20nm至200nm之間的晶片。它具有可調節的狹縫高度，允許在+/-2µm內精確控制狹縫高度。BUEHLER 60-2499還具有精確的沙床以確保均勻處理。包括一個熔爐用戶界面（FUI）來快速、方便地設置基板參數。60-2499是滿足各種晶圓加工需求的高性能熱氧化裝置。其精確的溫度控制和先進的過程監測技術確保了任何項目的一致性和可重復性。此外，其風冷保溫設計和集成式冷卻機提供卓越的性能和能效。BUEHLER 60-2499具有堅固而精確的設計,是希望獲得最高質量晶圓制造結果的處理器的理想工具。