二手 CREST DSA-150-6L2-5.7L #9125189 待售

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ID: 9125189
優質的: 2009
UV irradiation, 2009 vintage.
CREST DSA-150-6L2-5.7L是一種全自動晶片處理設備,旨在實現最高的生產率。它具有集成的光學和機械處理功能。它旨在處理各種基板尺寸和配置,包括正方形、矩形、圓形和矩形/標準。該系統能夠在快速控制平臺上同時處理多達六個晶片,從而提高吞吐量。使用CREST DSA-150-6L2-5.7L,晶圓漿料被加載到載波軌道上,載波軌道通過單元傳輸晶圓。然後機器提供了一些用於預處理和處理的功能。它利用先進的光學器件以最大的特征定義和精確的層厚度來精確地加工基材。這項工作是結合先進的光學和自動化工藝完成的,包括光學工具校準和兩步基板配準。該資產還設計用於提供精確的溫度和濕度控制,以優化基板表面條件和盡量減少浪費。CREST DSA-150-6L2-5.7L還具有內置的後處理站,它使用模型控制工具和手動方法的組合。該後處理站可用於蝕刻、掩蔽、密封和拋光晶片表面,以達到所需規格。該設備配有一系列防護罩,設計方便處理後清除殘留物。此外,CREST DSA-150-6L2-5.7L包括集成的過程控制系統。該單元提供高級統計過程控制和數據收集功能,使操作員能夠監測和控制過程和參數。這臺機器可以用來優化設備的性能,以達到提高產量和可重復性。總體而言,CREST DSA-150-6L2-5.7L是一種先進的晶圓處理工具,可提供卓越的性能和效率。適用於一系列行業的應用,包括半導體、太陽能、微電子、醫療器械制造等。其集成的光學和手動後處理功能使其成為實現精確規格的理想解決方案。
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