二手 CREST Optimum #9131750 待售

CREST Optimum是一款最先進的晶圓加工設備，旨在為矽化物制造和其他半導體應用提供最佳性能。它由一套硬件和軟件系統組成，包括一個機器人工作站、一個加載鎖系統和許多高級流程模塊。該設備對所有晶圓制造過程提供高吞吐量、最大靈活性和精確控制,確保客戶能夠生產出質量和可靠性最高的產品。機器的機器人工作站構成了Optimum工具的核心。它配備了先進的自動化能力，允許在無需人工幹預的情況下高速裝卸晶片。此工作站可支持多達12個流程模塊,用於各種應用程序,包括清潔、計量和蝕刻流程。此外,其集成的安全聯鎖系統保護資產的操作者免受危險情況的影響。該型號還配備了可進入與主室隔開的環境的負載鎖設備。這樣就可以將樣品準確高效地加載到機器人工作站的室內。負載鎖定系統包括一個集成真空單元以及一個惰性氣體輸送機，用於控制室內的大氣。CREST Optimum工具還包含許多高級流程模塊。其非晶矽模塊可實現高通量薄膜的精確結晶,而其化學機械拋光（CMP）模塊為制造應用提供超光滑表面。此外,其外延模塊提供復合半導體器件的快速制造,其快速熱退火（RTA）模塊提供高級加熱和冷卻功能,從而實現高速吞吐量性能。除了硬件功能外,Optimum資產還配備了全面的軟件套件,便於對模型的過程模塊進行高級監控。這包括一個內置的配方管理器,允許用戶為制造過程創建和存儲自定義配方,以及一個流程數據采集和日誌記錄設備,它可以實時全面查看系統的性能。CREST Optimum單元旨在為各種晶圓處理應用程序提供最佳解決方案,提供卓越的性能、最大的靈活性和無與倫比的精度。其功能豐富的硬件和軟件系統套件改變了創建復雜半導體器件的過程，讓客戶以經濟高效的方式取得前所未有的成果。