二手 CREST PCS-2224 #9076979 待售
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ID: 9076979
Aqueous cleaning and drying system
(8) Stations
Uses de-ionized water for cleaning
Custom designed cleaning console and a hot air drying console
Automated transfer system: moves basket and parts through cleaning system.
CREST PCS-2224是一種先進的其他晶圓加工設備,包含用於晶圓加工的功率級和射頻發生器。它能夠實現高精度、重復性和可靠性,同時還為用戶提供了一個經濟高效的精確晶圓處理和處理解決方案。PCS-2224由兩個主要組件組成:離子束掃描儀和離子植入室。離子束掃描儀具有一系列用於晶片定位的高分辨率掃描級以及用於晶片級及其相關組件的驅動系統。離子註入室是一種高精度的裝置,設計用於將離子束施加到晶圓表面,以創造設備與電路和其他組件集成所必需的電氣特性。CREST PCS-2224通過三軸機械手提供業界最佳的處理功能,該機械手能夠處理直徑不超過300 mm、重量不超過500Kg的重型晶片。它還支持四個可編程掃描段,用於精確實現植入過程,如步進重復、叠加和步進掃描。此外,該設備還配備了一個高容量的離子源,運行壽命高達1000小時,輸出電流高達100μA。該裝置還能夠根據各種可編程參數所需的植入類型進行作用離子束電流和電壓調節。為了增強設備管理,設備支持高級控制機器,允許用戶操作設備並遠程監視其性能。此外,該設備還提供了多種接口(如模擬和以太網),以集成到客戶現有的流程控制系統和通信協議。PCS-2224還提供了高度的後處理穩定性,具有可重復性和準確性,確保能夠一致、可靠地產生最佳的晶片特性。它旨在與所有主要半導體和微電子過程兼容,並遵守所有安全規範和規定。該設備還符合相關環境標準和指令以及健康和安全法規,以便用戶能夠保證其產品達到最高質量要求。CREST PCS-2224具有多種功能和用戶友好的界面,是滿足所有晶圓處理需求的理想選擇。
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