二手 CRYSTAL Clean 960 TM #9301057 待售

CRYSTAL Clean 960 TM是一款革命性的晶圓處理設備，設計註重精度和可靠性。它利用先進的晶體學技術，以盡可能高的精度清潔和拋光晶片。該系統設計用於化學機械拋光（CMP）和蝕刻工藝,使其能夠用於任何半導體制造工藝。該單元由一系列子系統組成，每個子系統都是模塊化的，可根據客戶的需求定制。機器的核心部件包括晶圓處理和對準單元、真空泵、氣體沈積工具、化學機械拋光機和低溫部件。這些組件協同工作,以提供最佳的清潔和拋光解決方案。晶片處理和對準單元負責將晶片定位在腔室中，並確保晶片正確對準CMP和蝕刻過程。真空泵負責在腔室中創造低壓環境，這是必要的，以防止在清洗過程中對晶片造成損壞。氣體沈積資產用於控制清潔過程中氧氣和其他氣體在晶片上的沈積。化學機械拋光機負責晶圓表面的機械拋光。這是通過用專門設計的拋光墊磨擦晶片表面來完成的，拋光墊在晶片表面高速移動。該模型還采用了獨特的低溫冷卻元件，冷卻晶片表面，以減少損壞，提高拋光工藝的質量。總體而言,Clean 960 TM設備是一種先進的高精度晶片處理系統,旨在幫助半導體制造商節省時間和金錢,同時仍提供高標準的成品晶片。它為任何半導體制造過程提供了一個經濟、可靠的解決方案,其模塊化特性使客戶能夠根據自己的確切需求定制其解決方案。