二手 CRYSTAL Clean 960S #9301056 待售

CRYSTAL Clean 960S是一種獨立的其他晶圓加工設備,設計用於處理各種化學品和工藝,包括ISO-1、ISO-4和UFG/UHE清潔。該系統采用熱化學工藝，可實現高效清潔。單晶片單元可提供高達150°C的工作溫度和一到六十秒的可調時間周期,自動控制諸如溫度、時間和坡道時間等參數。機器配備了高效的物料處理工具，將晶片從負載站移至清潔室，然後從腔室移至幹燥站，同時還允許中序晶片卸載。不銹鋼腔室能夠同時容納多達25個晶圓，因為它是為100和200毫米晶圓直徑而設計的。此外，該室采用獨特的設計，由於其無振動操作和射流的引入，有利於提高溫度操作和更好的清潔性能，從而產生了許多氣體流，同時覆蓋晶圓的所有表面。清潔960S提供了一系列功能,可確保用戶安全和流程安全。每個程序最多可以記錄99個流程周期,其中最多有4個配方存儲在資產的內存中。該模型具有鎖定機制,可防止意外更改存儲的配方,而每個工作流都是機電固定的。而且，設備的自動安全閥、慣性安全鎖、過濾墊、流量傳感器為用戶安全提供了額外的保障。從用戶角度來看，CRYSTAL Clean 960S配備了符合人體工程學的觸摸屏面板和直觀的圖形用戶界面。該系統易於更換的墨盒和噴嘴便於快速、方便的清潔維護。最後,但並非最不重要的一點是,該單元獲得了完整的CE認證,這意味著質量、可靠性和安全標準都超出了最低要求。