二手 DETREX VS-2000-EW #138705 待售
網址複製成功！
單擊可縮放
ID: 138705
Vapor spray degreaser
Specifications:
Stainless construction
Spray wand
Primary cooling water
Freeboard: 100+%
Sliding covers
Freeboard chiller
Triple canister filtration
Large built-in solvent catch tray holds spill
Secondary application for cleaning tubes
Eductor and nozzles fixture
Pump system installed above boiling liquid sump
Power requirements: 240V, 3-phase, 60Hz, 63A.
DETREX VS-2000-EW是為滿足半導體和微電子工業的需要而設計的晶圓處理設備。它提供了執行各種復雜處理任務的準確性、速度和可靠性。該系統采用直觀的觸摸屏圖形用戶界面，便於操作和設置。VS-2000-EW利用三軸單元在蝕刻和沈積操作中精確定位晶片。該機還配備了28位處理卡帶、具有遠程管理能力的先進工具控制器以及用於清潔操作的兩級真空/空氣過濾器資產。DETREX VS-2000-EW能夠執行幹濕蝕刻過程。它能夠控制蝕刻速率，保護晶片不被過度蝕刻。該型號配備了自動溫度控制設備，以確保整個晶片表面一致的蝕刻性能和溫度均勻性。該系統還提供一系列電源和速度選項,以適應不同的處理需求。VS-2000-EW能夠執行各種類型的沈積過程。它配備了4區石英管式爐，能夠達到6區控制。該裝置還能夠利用壓電進行可重復和精確的晶圓厚度控制。真空室的設計允許在大面積上均勻沈積薄膜，而石英基板支架確保精確的調整和控制。DETREX VS-2000-EW還提供了一系列其他功能，以提高晶圓處理的效率和準確性。它配備了一個智能機器控制器，以監測和減少設置和循環時間，以及一個無廢物清除和清理工具，以減少交叉汙染。資產還利用計算機系統跟蹤處理參數和性能。綜上所述，VS-2000-EW的特點使其成為各種晶圓加工操作的絕佳選擇。
還沒有評論