二手 DSC GROUP DSC 104 #9395307 待售

DSC GROUP DSC 104是一種「其他晶圓處理」設備,其設計目的是為集成電路的制造提供晶圓處理支持。它是一種通用系統，用於晶圓表面的外延層沈積、化學機械拋光（CMP）和其他相關應用。它也可用於設備燒入、微圖化、光學檢查和芯片測試。DSC 104配備了一系列組件，使其能夠執行廣泛的晶圓過程。首先，該單元包含一個高真空室，以及氦動力離子源和電子槍，使機器能夠在晶圓表面沈積薄薄的外延材料層。其次，該工具配有一個化學機械拋光頭（CMP），基板可以在其中進行濕拋光或幹拋光。這是制造過程中的一個關鍵步驟,因為它可以使晶圓曲面精確地平整。除上述外，該資產還包含半自動晶圓加工站等其他幾個組件，以及多個檢測站（包括顯微鏡、圖像傳感器和激光掃描系統）。這些組件中的每一個都集成到模塊化模型體系結構中,從而可以在各個模塊之間輕松高效地傳輸數據和信息。DSC GROUP DSC 104還包括各種工藝控制和反饋系統，允許嚴格控制工藝的晶圓沈積和拋光階段。這是通過使用壓力和溫度傳感器等多種傳感器以及用於精確控制離子束電流的頻率逆變器來實現的。變頻器還用於調節和監測其他工藝參數，如材料沈積速率。總體而言，DSC 104是一種通用設備，可用於各種晶圓處理操作。它設計有嚴密的過程控制和反饋系統，以及多個檢查模塊和晶圓加工站，使其成為生產環境的理想解決方案。該系統的模塊化設計使其易於升級和定制,使其適合電子制造業的各種需求。