二手 ECD SuperMOLE Gold #9246156 待售

ECD SuperMOLE Gold是一款先進的晶圓加工設備，利用先進的化學和高功率的微波能量為晶圓基板表面提供了非凡的熱剖面。該系統適用於所有類型的晶圓結構，從高長寬比結構到MEMS結構。該單元本身由幾個部分組成，包括一個負載鎖、一個中央處理單元、一個3軸運動機和一個真空室。負載鎖允許一次最多加載二十四個晶片，每個晶片可以在加工開始前加熱到特定溫度。3軸運動工具在晶圓平整、拋光和表面計量等應用中提供了一系列的三維運動。真空室還配備了幾個對溫度、壓力和光線敏感的傳感器。SuperMOLE Gold的高功率微波能量采用先進的化學方法設計,為晶片基板提供卓越的熱性能,比其他技術提供了更好的加熱性能,與傳統晶片處理系統相比,工藝時間減少了高達75%。它還能夠在一小部分時間內達到高達1000 °C的溫度。ECD SuperMOLE Gold背後的技術也允許晶圓在加工後立即快速冷卻。這樣減少了整個過程時間,從而大大提高了吞吐量,並消除了與傳統晶圓處理系統相關的等待時間。SuperMOLE Gold還具有可編程的可重復腳本和實時數據監控功能。這一先進的晶圓處理資產還包括自動校準和安全升級，從而減少或消除了手動輸入數據和編程的需要。總體而言，ECD SuperMOLE Gold是一種用途廣泛、可靠且具有成本效益的晶圓處理模型，旨在改進晶圓處理的幾個方面。與傳統系統相比,實現高溫和快節奏冷卻時間的能力縮短了工藝時間。高級化學和自動化設置的加入也是使SuperMOLE Gold成為晶圓處理應用非常理想的平臺的關鍵功能。