二手 ECSAL / AQUEOUS TECH YF-03 SUS #293643092 待售

ECSAL/AQUEOUS TECH YF-03 SUS是一種用於生產半導體器件的濕處理設備。該系統設計用於從裝置基板上均勻、一致地去除顆粒、金屬、光致抗蝕劑和雜質。它利用化學和物理過程相結合，以取得非同尋常的過程結果。該單元通過閉環技術運行，這種技術允許在多個過程中循環使用解決方案。這有助於降低與浪費相關的成本,同時優化流程效率。該機器還設計用於盡量減少汙染物，在過濾工具中加入額外的過濾介質，以幫助確保質量結果。資產的核心是一個獨特設計的機櫃，其中裝有微機電系統，可控制模型的處理順序和其他部分。這就是所謂的核心文件櫃，旨在通過嚴格控制處理環境來保持過程的完整性和結果的統一性。它與過濾機櫃結合使用,該機櫃是設備的外部部分,用於過濾、回收和存儲系統中使用的解決方案。Core Cabinet和Filtration Cabinet都與該單元的軟件（稱為AFIX）集成在一起。此軟件可幫助監控計算機的性能,並可識別需要微調以確保最佳流程的流程參數。軟件還提供數據存儲、執行控制和用戶界面功能。通過包括ECSAL或客戶提供的各種解決方案,進一步加強了該工具,以便於從基板表面去除有害材料、顆粒、金屬和殘留光刻劑。這些解決辦法，加上真空的使用，確保有效和一致地清除這類材料。總體而言,ECSAL YF-03 SUS資產是一種有效可靠的濕處理模型,它使用技術先進的組件和軟件來確保質量半導體器件的統一結果和高效生產。內核機櫃和過濾機櫃的加入允許對工藝環境進行精密的控制和清潔溶液的高效利用。隨著AFIX軟件的集成，設備有助於監控和改進流程，從而產生一貫的高質量結果。