二手 ELMA 660H #9401119 待售

ELMA 660H是一種先進的自動晶片處理設備，設計用於IC晶片的全面和可重復清洗。該系統是一個四室、無觸摸的C+S 400L模塊，用於自動清洗IC晶片載流子。該模塊是直徑最大為6英寸的晶片的行業標準。660H為清潔和處理正面和背面安裝的IC提供了全方位的技術、工藝和處理。ELMA 660H采用全封閉式單元,具有可調腔室氯濃度,提供從單面到雙面批處理的完整工藝控制。660H的腔室大小確保晶片無論應用和表面積如何都能得到有效的處理。ELMA 660H具有濕式磨砂清潔室、脫熔室、能量增強的CMP（化學機械拋光）室以及延長接觸式清潔室和幹燥室。濕式磨砂清潔室設計用於在CMP處理之前清除顆粒和汙染物。這一清洗過程消除了顆粒和其他類型的汙染，否則可能會阻礙IC的性能。濕磨砂清洗後，用脫熔室清除晶片表面可能殘留的任何殘留物。能量增強的CMP腔室配有可調氯基濃度溫度，為變化晶圓直徑提供全自動、可重復和可編程的表面適應工藝。該腔室還能用於IC背面的原位多級CMP。最後，延長接觸式清潔幹燥室用於晶圓的最後沖洗和幹燥，如果需要，包括額外的脫膠塗層。660H專為靈活生產而設計,使用自動化系統裝載和卸載載波,並提供過程控制。此外，還可以在機器上添加一個可選的臭氧清洗模塊，進一步消除晶圓表面的顆粒和殘留物。此外,該工具還支持所有通用的數據跟蹤格式,從而實現了完整的可追蹤性和過程文檔。綜上所述，ELMA 660H是一種先進的四室C +S 400L自動晶片處理資產，設計用於綜合和可重復的IC晶片清洗和處理。660H還具有可調腔室氯氣濃度和用於裝卸載具的自動化系統，還支持所有通用的數據跟蹤格式，以實現流程可追蹤性和文檔記錄。