二手 ELMA HS350/1100/300/6-ABS-WLT #9060500 待售

ELMA HS350/1100/300/6-ABS-WLT是專門為塗覆細膩晶片而設計的晶片加工設備,如鋁、砷、氧化和矽制成的晶片,包含各種不同的層,用於集成電路、MEM、光電等應用。本機利用專利角軸承技術，通過旋轉平衡基板和晶片，從而消除晶片表面的不均勻性和空隙。這樣可以實現最大的塗層厚度與均勻性,提高工藝和成本效率.ELMA HS350/1100/300/6-ABS-WLT使用帶有可選附加頭的免塗層頭和定制的適應性,例如口罩定位,能夠執行各種任務,包括保形塗層、焊劑塗層、薄膜沈積和納米塗層,並具有高度的準確性和控制性。此外,由於塗層長度短、加速度和減速高,以及保持晶片質量、防止加工過程中過熱或氧化的冷卻技術,該系統可節省成本。ELMA HS350/1100/300/6-ABS-WLT還配備了在線計量和3D成像系統，以檢測晶圓中的變形和缺陷。消除過程中的任何缺陷，單位可以保證高產量和產品均勻性。它還支持實時數據和對流程指標（如吞吐量、周期時間和缺陷率）的監控,以增強精度並實現在線流程優化。在此過程中還可以向操作員提供警報和觸發器,以及遵守可追蹤性和記錄過程歷史記錄的法規。而且，該機融合了先進的連接平臺等獨特功能，同時最多8個基板與該工具同時兼容。所有這些特點都是為了提高晶片塗層關鍵應用的效率和質量而設計的。總體而言,ELMA HS350/1100/300/6-ABS-WLT是一項先進的晶圓加工資產,它提供精確、高質量的晶圓塗層功能,符合業界最高的標準。它用戶友好、經濟、能夠滿足最嚴格和最具挑戰性的要求。