二手 ELMA HS350/1100/300/6-ABS-WLT #9143535 待售
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ID: 9143535
優質的: 2002
Wafer cleaner
(10) Stations
Software
Manuals: installation, operation, maintenance
480V, 3 phase, 100A, 82kVA
Pneumatic power supply: 6-7 bar, 1.5Nm3/H
2002 vintage.
ELMA HS350/1100/300/6-ABS-WLT是一種自動化的其他晶片處理設備,旨在降低與生產多芯片或混合組裝應用相關的制造成本。它是一個多合一的機器,提供高精度晶圓處理和芯片安裝技術在一個小巧和可靠的封裝。ELMA HS350/1100/300/6-ABS-WLT可以處理小尺寸和標準尺寸的晶片,最大直徑選項為8到20英寸,最大厚度在10到100 um之間。它具有用於檢查小芯片細節的高分辨率成像針孔相機和用於控制晶圓放置和邊緣配準的高精度步進電機。安裝頭無需額外的工具即可處理高達3毫米厚的晶片。ELMA HS350/100/300/6-ABS-WLT還具有自動晶片稀釋和清洗站.該站采用兩步法控制晶片厚度和去除晶片表面微粒。該系統還能夠運行各種其他晶圓工藝,如蝕刻、研磨和研磨,並具有全功能加載和卸載自動化,以提高效率。ELMA HS350/1100/300/6-ABS-WLT晶圓處理單元利用高級軟件功能進行編程、診斷和數據收集。它具有直觀的觸摸屏和用於快速編程的集成命令語言,非常方便用戶。它還具有晶圓速度、晶圓壓力、晶圓數和晶圓位置等工藝參數的實時監控功能,以確保高精度和一致的工藝結果。ELMA HS350/1100/300/6-ABS-WLT以高達每小時3500晶片的速度加工晶片,使其成為大批量生產線的絕佳選擇。機器的靈活配置允許各種吞吐量,每個處理位置最多可容納10個晶圓載波。這樣可以靈活地處理不同類型的產品或擴展生產。ELMA HS350/1100/300/6-ABS-WLT是生產多芯片或混合組裝應用的高效可靠的其他晶片處理工具。通過其先進的成像傳感器、質量檢查和靈活的配置,它可以幫助降低與生產晶片相關的制造成本並提高總體生產率。
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