二手 ELMA X-tra Line 800 #293605217 待售

ELMA X-tra Line 800是一種「其他晶圓處理」設備，適用於超高真空和高溫前/後清洗。它是一個自動化的單晶片處理平臺，設計用於處理直徑從150毫米到300毫米不等的晶片。該系統配備了強大的無刷電源，控制高壓噴霧、刷子處理能力等清潔參數。它還具有高壓等離子體能力和基體存儲能力。設備可以使用蝕刻、沈積或清潔工藝來處理晶片。它的兩個300 mm寬的加工室具有高壓噴霧、刷子加工等能力。該機器配有一個控制器，能夠在清洗前和清洗後過程中快速響應。該工具包括能夠執行移動檢查的高速掃描頭。它還有一個光學顯微鏡，用於在清洗前和清洗後的過程中檢查樣品。該資產配備了符合人體工程學設計的微觀定位模型，用於精確的晶圓放置和定位。X-tra Line 800可以在一個周期內執行多個處理步驟。它配備了先進晶圓檢測設備（AWIS）和自動級運動控制（ASMC），用於增加工藝和晶圓控制。該系統設計方便維護，包含加熱器、針頭、螺線管和易於更換的過濾器等組件。此外，由於模塊化設計，該單元效率很高，可為各種流程提供容量和靈活性。該機配備了靈活的過程監控工具，提供實時數據和趨勢分析。總體而言,ELMA X-tra Line 800是一個自動化的單晶片處理平臺,提供高速掃描和過程功能,以及高級晶片檢查和自動舞臺運動控制。適用於超高真空高溫前/後清洗，具備強大的無刷電源、高壓噴霧、刷子處理能力。該資產是為便於維護而設計的,其組件如加熱器、針頭、螺線管和易於更換的過濾器。