二手 EM TECH BM2424 #293660908 待售
網址複製成功！
單擊可縮放
EM TECH BM2424是一種全自動、多功能的晶圓加工設備，設計用於包括半導體和微電子生產在內的廣泛行業。該系統結合了高工藝保留能力和可重復、可靠、準確的工藝控制，使用戶能夠處理各種具有高度可重復性的基板。BM2424具有250毫米x 250毫米x 200毫米的加工室,可容納直徑為3「至8」、厚度為0.8毫米至8毫米的各種晶圓。該單元包括多種工藝室，包括蝕刻室、拋光室、幹蝕刻室和濕蝕刻室。每個工藝室的設計旨在優化晶片輪廓的均勻性，同時便於清潔、沖洗和準備下一個工藝步驟。EM TECH BM2424機中包含一個高性能的20nm石英紡紗機。該旋轉器設計用於提供晶片相關材料的均勻分布，同時避免晶片邊緣受到旋轉力的任何潛在損害。旋轉器還確保在一定時間內清除加工室內所含的任何滯留氣體，從而防止晶圓表面的任何潛在汙染。BM 2424的薄膜沈積工藝采用低壓物理氣相沈積（PVD）技術，使用戶可以將各種材料的薄膜沈積到其基板上。PVD技術利用熱轟擊和電子輔助轟擊來物理蒸發目標材料，然後將其重新冷凝到晶圓表面上。沈積層的厚度可以根據目標材料的生長速率精確控制。EM TECH BM 2424的原位端點檢測功能允許用戶在沈積過程中準確確定薄膜的厚度或步長。此端點檢測工具監視沈積速率,並在達到所需的膜厚度或步長時停止沈積過程。端點參數可以存儲以供以後使用,並且可以針對不同的應用程序輕松自定義。BM 2424的晶圓處理機器人效率很高，設計用於每個清潔和工藝周期至少100個晶圓。機器人還能夠處理各種不同類型的晶片，從柔軟細膩到堅硬健壯。晶圓處理自動機允許操作員選擇要處理的晶圓數量和必須應用的特定工藝參數。EM TECH BM2424包括各種專門的加工室配件.一個集成的不銹鋼沖洗站可以讓用戶在每個新的工藝周期前快速清洗工藝室，確保最高水平的清潔。溫度控制傳輸臂使用戶能夠快速準確地將重要數據從控制資產傳輸到流程室,從而降低任何數據丟失或錯誤的風險。BM2424是一種全面可靠的晶圓處理模型,它為用戶提供了各種行業的準確性、可重復性和高吞吐量的組合。設備直觀的用戶界面、自動端點檢測能力、耐用的構造使其成為滿足半導體和微電子生產要求的理想選擇。
還沒有評論