二手 EMC Spirit 30 IPA #9229741 待售

EMC Spirit 30 IPA（內聯處理應用程序）是一種高度靈活、靈活的生產自動化設備,專為半導體和微電子制造而設計。該系統的模塊化設計允許輕松集成到現有的半導體技術平臺中。該單元由多個組件組成，包括機器人控制器、自動晶圓傳輸機和高精度晶圓處理單元。機器人控制器由一臺采用多種控制算法編程的集成PC驅動。該控制器可以準確可靠地同步和控制整個晶圓傳輸工具，從而實現高效、精確的內部過程。機器人控制器的核心是機器人邏輯軟件，該軟件可實現復雜的晶圓處理操作，並可由操作員進行定制，以獲得所需的處理結果。晶圓傳輸資產旨在以高度可靠和快速的方式將晶圓從一個處理步驟移動到下一個處理步驟。此模型由一系列預先編程的序列引導,並監視旅行路徑,以確保傳送到目的地。該設備采用PVC桿、裝上的球式傳動裝置和線性執行器組合而成，可串聯工作，確保晶片從原點安全高效地到達目的地。處理單元是處理實際目標晶圓的位置。這個單元由真空卡盤，以及一系列的加工室組成。「光學」室負責將晶片牢固地抓握和轉移到目標晶片進行處理。「進紙器」腔內的片式進紙器允許同時完成多個晶圓傳輸。「過程」室包含多個物理和化學過程，在晶片加工過程中將材料蝕刻和沈積到晶片上。Spirit 30 IPA旨在提供耦合、切片、切片和其他精細的微電子過程。該系統的多種工具、機械運輸和高精度處理能力使其成為任何半導體或微電子制造商的理想選擇。它處理各種目標晶片和生產方法的能力使其能夠很容易地融入現有生產線。