二手 ENTEGRIS Ultra-6102 #9156643 待售

ENTEGRIS Ultra-6102是一種全自動晶片處理設備,旨在快速準確地處理各種晶片尺寸和類型。它能夠處理多達300毫米的晶圓，並且能夠進行大容量、高吞吐量的處理。該系統的設計具有一流的精確度和精確度，從實驗室環境的研究應用到工業生產加工，適合各種應用。Ultra-6102由晶片裝載機、晶片處理機、工藝頭和微調組件組成。晶片裝載機是真空驅動的單元，一次最多可容納25個晶片。處理程序組件有一個多攝像機，能夠檢測和準確定位晶片準備處理。該工藝頭配備了多種物理和化學加工工具。每個工具都是可獨立編程的，能夠對材料進行精確的蝕刻和沈積。旋轉器組件也是可調的，可以快速準確地旋轉晶片，高達22,000rpm。整個工具安裝在移動平臺上，可以方便地在生產線或地點之間移動。或者,資產可以配備系統內性能監視器來跟蹤效率和輸出。ENTEGRIS Ultra-6102是一種最先進的晶圓處理模型,能夠在各種晶圓尺寸上提供精確的處理周期。對於精確度和效率至關重要的科學實驗室和工業生產線來說，這是理想的選擇。該設備易於移動,用途非常廣泛,提供了前所未有的靈活性。