二手 ERNST PF 3300 #293650933 待售

ERNST PF 3300是一種晶圓處理設備，能夠精確制造和處理高溫矽晶圓。該系統旨在實現矽片上多種不同材料的沈積和蝕刻。它專門設計用於在執行晶圓稀釋、背面研磨、濕化學蝕刻甚至氧化等過程時提供高度的精度、控制和可重復性。該裝置的處理多種基板的能力包括矽、移動物、石英、GaAs和藍寶石。晶片的尺寸從50毫米到300毫米不等，這臺機器一次總共可以處理八個晶片。PF 3300采用機械臂設計,能夠精確可靠地處理基片,從而實現材料的最佳蝕刻和沈積。該工具還具有惰性環境，可精確沈積和蝕刻薄膜。ERNST PF 3300的晶圓蝕刻室充滿了氮氣或氦氣等惰性氣體，其設計方便在精確的溫度下對材料進行精確蝕刻。該腔室還配備了一個對超薄膜加工至關重要的溫度控制資產。腔室是溫度控制的，以防止晶片在蝕刻過程中的任何氧化。該模型還能夠對晶片進行精密的背面研磨，包括金剛石圈，從而能夠從晶片背面精確去除多余的材料。金剛石圈裝在晶片支架內，以防止任何可能影響研磨過程的振動或震動。PF 3300是為高溫矽片的具體處理而設計的強大設備。該系統具有強大的計算機控制機械，能夠精確、可靠地處理各種材料。該裝置配備了惰性環境和鉆石研磨，增加了其多功能性，使用戶能夠根據具體的工藝要求量身定制操作。