二手 ESA Ultima Plus #9097308 待售

ESA Ultima Plus是一款最先進的晶圓處理設備，旨在為用戶提供半導體制造的集成解決方案。該系統建立在業界標準的Ultima平臺上,並結合了精密驅動機構、控制系統、圖像采集和視覺檢查等多項功能。該單元包括晶片裝載機、加熱器、曝光後烘烤站和激光檢測機。根據要求,某些工具（如臨界尺寸掃描電子顯微鏡、電子束檢查或蝕刻探測）可能會添加到設備套件中。晶片在受控的溫度、濕度和壓力下在專用環境中進行處理,以確保清潔和可重復的制造過程。該工具具有晶片對準和晶片粘附檢測功能,可檢測在加載或卸載過程中可能造成的任何缺陷。配準資產確保晶片在加工室中的配準，而粘貼檢測模型檢測和測量晶片與加工室之間的任何附著力。Ultima Plus還包括一個控制設備，用於自動映射和校準每一層的處理參數。還可以使用自動化數據記錄系統來存儲和跟蹤每個晶圓的處理信息。這允許隨著時間的推移優化流程,並通過在流程早期發現潛在問題大大減少了停機時間。此外，該單元還包括SPC（Statistical Process Control）等各種軟件包，使用戶能夠監控生產性能和優化流程。這有助於提高產量和提高吞吐量。該軟件還支持對設備性能進行遠程監控，以便進行預測性維護和及早發現問題。ESA Ultima Plus是一個通用平臺,可以定制以滿足特定的用戶需求。這臺機器非常適合全行業的應用,旨在確保用戶充分利用晶圓處理。