二手 EVERFINE PLUS 150 #9215487 待售
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EVERFINE PLUS 150是一種最先進的晶片處理設備,設計用於生產具有最小缺陷和碎片的高質量、均勻的晶片。該系統利用先進的晶片生產技術,如精密的自動固定和模具,以確保精確、可重復的操作。PLUS 150還設有高科技原位監控單元,實時跟蹤工藝參數,以避免操作不當或物質條件造成的問題。EVERFINE PLUS 150採用自訂晶圓處理機,設計來處理厚度範圍為0.1-1.5mm的直徑8英寸的晶圓直徑。該工具采用兩級熱力機械工藝,包括多區預熱段和編程溫度坡道。此過程使資產在晶圓處理序列中獲得晶圓表面的穩定平面度。此外,PLUS 150還具有光學布局,用於確保適當的激光對準,並最大限度地減小感應到晶圓材料中的應力。EVERFINE PLUS 150還配備了現場監控模型,可實時主動監控流程參數,並使用數據融合和模式識別工具快速檢測任何意外事件或流程偏差。該設備通過短信和/或電子郵件在發生異常時向操作員和/或預定人員發送通知,以便采取快速反應和糾正行動。該系統還具有高精度清潔裝置,采用超軟刷洗、吸塵等多種清潔技術相結合,確保晶片上不殘留任何異物顆粒和誘發缺陷的材料。PLUS 150上的清潔系統能夠清潔高達0.3微米的晶片,也能有效去除典型的「下烘烤」顆粒和殘留物。綜上所述,EVERFINE PLUS 150是一臺功能強大、用途廣泛的晶圓加工機,經過精心設計,能夠快速、準確地處理各種晶圓尺寸和厚度,且缺陷和碎片最小。該工具利用先進的自動化設備和現場監測系統,以確保精確、可重復的操作和盡量減少過程錯誤,同時提供高精度的清潔資產,以確保晶片表面清潔,供後續處理。
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