二手 HEATHWAY System #9028775 待售
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ID: 9028775
優質的: 2001
Wafer CNC flame hydrolysis deposition furnace
Batch type
Testing disks, 4"
CNC Controlled with 9" - 4" heated stations
Gas cabinet with stainless components
Chamber-W: 30" / 762mm
Chamber-L: 30" / 762mm
Chamber-H: 6" / 152.4 mm
2001 vintage.
HEATHWAY Equipment是一個多功能晶圓處理系統,使用戶能夠生產出效率卓越的優質半導體產品。這個HEATHWAY單元提供了最一致和可靠的結果。機器有四個基本部件:晶圓處理機器人、晶圓粘合室、清潔希思韋工具和熱/機械加工室。晶圓處理機器人被設計成將晶圓精確定位在加工頭上;還配備了防撞功能。晶片粘合室采用真空輔助工藝將晶片牢固地粘合在一起,確保了均勻性和可重復性。清潔資產利用高效過濾器和傳感器減少與過程有關的環境汙染。最後,熱/機械處理室為用戶提供對晶體生長、沈積、摻雜和其他過程的精確控制。HEATHWAY模型的體系結構旨在保持低維護成本。它利用多個自動化級別,允許通過圖形用戶界面監視和調整操作。設備采用模塊化組件,用戶可以輕松地升級和擴展其功能。HEATHWAY System還配備了廣泛的安全功能,包括緊急關機單元和主動登錄HEATHWAY機械。該工具旨在與各種材料和工藝兼容。它可以處理高達850°C的溫度,並且可以處理砷化的、矽等材料。HEATHWAY Asset能夠處理高達12英寸的晶片,並且一次最多可處理6個晶片。Model還配備了多種監控系統和接口,允許用戶密切關註晶圓的進度。HEATHWAY Equipment是一個高效的晶圓處理系統,為用戶提供高效的優質半導體產品。憑借其先進的設計功能,它可以提供一致和可靠的結果,從而將維護成本降至最低。
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