二手 HEKEDA TY 250 #9301003 待售

HEKEDA TY 250是為半導體器件制造中的金屬化過程而設計的高性能晶圓加工設備。它是一個獨立的系統，具有完全集成的平臺，帶有等離子體處理室，一個原位晶圓清潔站，一個潔凈室兼容的運輸/過程中晶圓處理單元，以及一個強大的沈積調度和控制軟件。TY 250中的等離子體加工室設計有兩個獨立和不同的區域，允許高溫加工和沈積細金屬層。獨立區允許通過遠程等離子體蝕刻同時沈積金屬矽化物，用於生產高k介電材料。該機設計靈敏度高，參數範圍廣，可最大限度地減少缺陷，加快工藝開發。該工具還允許快速去除粉末,從而最大程度地減少了規格外的拒絕,並提高了產量。HEKEDA TY 250的原位晶圓清洗站配備了先進的預清洗資產，以確保在金屬化之前最有效的顆粒清除。該站采用可編程旋轉噴頭和集成高速幹燥模型設計，以實現最均勻、最高效的超細晶片清洗。TY 250運輸/過程中晶片處理設備完全自動化，配備先進的真空和壓力傳感技術。該系統包括專用的機器人晶圓處理工具、晶圓冷卻單元、變速皮帶饋送、晶圓提取裝置和多個安全傳感器。這確保了等離子體加工室、原位晶片清洗站和幹燥爐之間晶片的安全、準確、可靠的傳輸和處理。HEKEDA TY 250還具有強大的沈積調度和控制軟件。此軟件允許用戶控制所有過程參數,包括溫度、壓力、安全和清潔周期。用戶可以輕松設置多個作業、對其進行優先排序,並遠程監視所有進度和參數。該單元還與標準企業級流程控制系統集成，便於集成和自動化。TY 250是一種先進可靠的晶圓加工機，專為半導體器件制造中的金屬化工藝而設計。它將高性能的自動化模塊與功能強大的軟件相結合,使其成為生產高k材料和提高生產率的理想解決方案。