二手 HILGER & KERN Vario-mix A1 #9134137 待售

HILGER&KERN Vario-mix A1是一種自動化晶片處理設備,可精確控制用於全晶片處理、烘烤/退火和摻雜的所有基本工藝參數。該系統是為高效可靠地生產高端半導體晶片而設計的。Vario-mix A1具有全自動處理單元,每個托盤一次最多可容納40個晶圓。晶片被輕輕地轉移而不會損壞其表面。該機采用先進的控制算法設計，確保了一個可重復和可靠的過程。該工具的圖形用戶界面（GUI）使得編程和調整流程參數變得容易，使用戶可以快速確定最佳設置。HILGER&KERN Vario-mix A1提供業界領先的晶體生長和摻雜工藝。集成的大功率脈沖退火（HPA）資產可同時對多達15個晶片進行統一和可靠的退火。采用延遲激光加熱的先進工藝控制模型使晶片逐漸冷卻，消除了熱沖擊的風險。HILGER&KERN設備具有可視化的分層控制和車載診斷功能,可提供最優質的產品。HILGER&KERN系統支持廣泛的興奮劑處理室，包括液體摻雜和蒸氣摻雜方法，以及自動汙染檢查器。該裝置還提供先進的監測系統，用於晶片的精確對準和定位。最後，Vario-mix A1采用真空泄漏檢測器，防止潛在的過程汙染。HILGER&KERN Vario-mix A1是一款市場上可用的高度可靠、安全且易於使用的晶圓加工機，旨在生產質量始終如一的先進半導體晶圓。該工具提供了廣泛的高級功能和過程控制選項,以最大限度地提高效率,從而提高產量並優化生產時間。